型號 | AWL046 | AWL068 | |
晶圓尺寸(SEMI規格) | 150mm/125mm/100mm | 200mm/150mm | |
晶圓最小厚度 | 150um | 180um | |
片盒類(lèi)型 | 開(kāi)放式片盒(SEMI Stad.25「26」-slot | ||
片盒數量 | 1Pot | ||
檢查模式設置 | 全檢/奇數檢/偶數檢/手動(dòng)選擇 | ||
片盒內晶圓掃描 | ● | ● | |
晶圓預定位 | ● | ● | |
晶圓定位 | 非接觸式定位平面N型槽,支持0°、90°、180°、270°、朝前設置 | ||
檢查功能 | 微觀(guān)檢查 | ● | ● |
晶圓宏面檢查 | ● | ● | |
晶圓宏面檢查1 | ● | ● | |
晶圓宏面檢查2 | ● | ● | |
適配顯微鏡 | SOPTOP MX68R金相顯微鏡 | ||
載物臺 | ?6英寸四層機械移動(dòng)平臺,低位手X Y方向同軸調節; ?晶圓承片臺,可360°旋轉; ?移動(dòng)行程228mm(X方向)×170mm(Y方向)觀(guān)察范圍;170mm×170mm; ?帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動(dòng)。 |
?8英寸四層機械移動(dòng)平臺,低位手X Y方向同軸調節; ?晶圓承片臺,可360°旋轉; ?移動(dòng)行程228mm(X方向)×280mm(Y方向)觀(guān)察范圍;210mm×210mm; ?帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動(dòng)。 |
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電源 | 1P/220V/16A |