全芯微首臺12英寸前道ArF勻膠顯影設備（Track）順利交付！
發(fā)布時(shí)間：2025-08-22
2025年8月19日，全芯微公司于客戶(hù)現場(chǎng)成功交付首臺自主研發(fā)的12英寸前道ArF勻膠顯影設備（Track），該設備正式投入客戶(hù)生產(chǎn)線(xiàn)，這標志著(zhù)全芯微公司在突破高端IC制程設備壁壘方面取得了重大進(jìn)展。
勻膠顯影設備是集成電路制造前道關(guān)鍵工藝設備之一，其技術(shù)與性能直接關(guān)系到光刻工藝的精細度和良率。長(cháng)期以來(lái)，Track設備市場(chǎng)被少數國際巨頭所壟斷，該設備國產(chǎn)化率不足3％，其國產(chǎn)化突破是我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的關(guān)鍵環(huán)節之一。
本次交付的12英寸ArF勻膠顯影機系統突破了勻膠顯影設備的多項關(guān)鍵技術(shù)，其集成了勻膠、顯影、對中等模塊化單元，通過(guò)機械手實(shí)現晶圓在各工藝模塊間的自動(dòng)化傳輸，有效保障了生產(chǎn)流程的效率和穩定性。設備配置的高精密陶瓷熱盤(pán)單元和邊緣曝光（WEE）單元，具備良好的溫度控制均勻性和工藝一致性。該機型的成功開(kāi)發(fā)，實(shí)現了公司在邏輯電路、存儲芯片、CMOS射頻電路、功率器件、驅動(dòng)芯片和OLED等制造領(lǐng)域的應用突破。
首臺ArF勻膠顯影設備的成功交付，為公司進(jìn)一步突破芯片先進(jìn)制程奠定了基礎。全芯微將繼續聚焦超大規模集成電路領(lǐng)域，推進(jìn)技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)品創(chuàng )新，為客戶(hù)提供高性能、高可靠性的工藝設備解決方案，助力行業(yè)發(fā)展。
勻膠顯影設備是集成電路制造前道關(guān)鍵工藝設備之一，其技術(shù)與性能直接關(guān)系到光刻工藝的精細度和良率。長(cháng)期以來(lái)，Track設備市場(chǎng)被少數國際巨頭所壟斷，該設備國產(chǎn)化率不足3％，其國產(chǎn)化突破是我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的關(guān)鍵環(huán)節之一。
本次交付的12英寸ArF勻膠顯影機系統突破了勻膠顯影設備的多項關(guān)鍵技術(shù)，其集成了勻膠、顯影、對中等模塊化單元，通過(guò)機械手實(shí)現晶圓在各工藝模塊間的自動(dòng)化傳輸，有效保障了生產(chǎn)流程的效率和穩定性。設備配置的高精密陶瓷熱盤(pán)單元和邊緣曝光（WEE）單元，具備良好的溫度控制均勻性和工藝一致性。該機型的成功開(kāi)發(fā)，實(shí)現了公司在邏輯電路、存儲芯片、CMOS射頻電路、功率器件、驅動(dòng)芯片和OLED等制造領(lǐng)域的應用突破。
首臺ArF勻膠顯影設備的成功交付，為公司進(jìn)一步突破芯片先進(jìn)制程奠定了基礎。全芯微將繼續聚焦超大規模集成電路領(lǐng)域，推進(jìn)技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)品創(chuàng )新，為客戶(hù)提供高性能、高可靠性的工藝設備解決方案，助力行業(yè)發(fā)展。